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 100 mm×100 mm?#24179;?#21453;射光栅的制作与测量

卜凡涛 鲁云开 李民康 周常河

[摘要]衍射光栅在各行各业有着广泛的应用, 这就要求光栅必须具有良好的质量。在制作大尺寸光栅的各种方法中, 激光直写技术具有明?#26434;?#21183;, 采用并行激光直写技术制作出了尺寸为100 mm×100 mm、线数为1780 line/mm的正弦...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(09):0904001

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