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   将选定结果: 

 基于超精密激光直写系统制作二维光栅

李民康 向显嵩 周常河 韦春龙 贾伟 项长铖 鲁云开 朱世曜

[摘要]二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电?#21040;?#26524;表明,所制作的...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(09):0905001

 光栅模式的色散方程与对称性

项长铖 周常河

[摘要]提出了横电、横磁偏振布拉格角入射下光栅模式的色散方程可进一步分解的理论,证明了分解得到的方程与光栅模式对称性间的等价关系。光栅模式的对称?#26434;?#21161;于阐释光栅内部衍射过程的物理图像。通过讨论光栅模式方程的根...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(09):0905001

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