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 基于超精密激光直写系统制作二维光栅

李民康 向显嵩 周常河 韦春龙 贾伟 项长铖 鲁云开 朱世曜

[摘要]二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电?#21040;?#26524;表明,所制作的...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(09):0905001

 基于一阶泰勒展开式的迭代最小二乘相移新算法

郭红卫 陈明仪 韦春龙

[摘要]提出了一?#20013;?#30340;最小二乘迭代算法,能有效消除因相移器存在导向误差面使相移平面倾斜从而导致的相移误差。当相移器存在的相移误差包括位移误差与倾斜误差时,同一幅干涉?#36158;?#20687;素点的相移并不同步,但其相移量在同一平面上...

 PDF全文光学学报 | 2001, 21(01):72-74

 基于一维快速傅里叶变换的相位去包裹算法

韦春龙 陈明仪 王之江

[摘要]提出了一?#20013;?#30340;相位去包裹算法,主要针?#38405;?#20123;条纹数少,条纹质量相对较好,仅仅是由于少数低调制度点、散斑点、噪声或?#39029;?#24341;起的去包裹失败的情形。?#30431;?#27861;基于一维FFT(快速傅里叶变换),简单且?#23376;?#23454;现。

 PDF全文中国激光 | 1998, 25(09):813-816

 运用泽尼特多项式的相位去包裹算法

韦春龙 陈明仪 王之江

[摘要]提出了一?#20013;?#30340;相位去包裹算法,主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或?#39029;?以下简称误差点)引起的去包裹失败的情形。?#30431;?#27861;运用泽尼特(Zernike)多项式对误差点区域进行拟合,通过?#27426;?#38408;值的设置...

 PDF全文光学学报 | 1998, 18(07):912-917

 光参量振荡器线宽研究

韦春龙 范琦康

[摘要]对0.532 μm波长光泵浦的BBO光参量振荡器产生线宽的机制进行了详细分析和计算,结果与实验基本一致,实验结果表明泵浦光发散角是产生线宽的主要因素。文中的分析方法可推广至其它单轴晶体光参量振荡器线宽的分析。

 PDF全文光学学报 | 1995, 15(12):1646-1650

 光栅腔BBO光参量振荡器

韦春龙 邱文法 范琦康

[摘要]报道0.532 μm泵浦的光栅腔BBO光参量振荡器的实验研究结果.在1.02~1.08 μm可调谐范围内,其输出线宽小于1 nm,参量转换效率为3.5%.

 PDF全文光学学报 | 1994, 14(10):1036-1039

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