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 PET?#26149;?#34924;底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元

[摘要]为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)?#26149;?#34924;底介质膜膜厚, 采用将PET?#26149;?#34924;底等效为单层基底材?#31995;?#24314;模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(04):585

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