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 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测

杨言若 步扬 徐静浩 王少卿 王向朝 李杰

[摘要]为实?#24535;?#23494;光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计?#25237;?#20809;谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0904002

 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 戴凤钊 杨朝兴

[摘要]针?#38405;?#21202;矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线?#38405;?#22411;。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(09):0911002

 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴 戴凤钊

[摘要]提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一?#20013;?#30340;偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(07):0712006

 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳?#38382;?#30340;偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 基于光声-光学相干层析成像的血流测量技术

潘柳华 张向阳 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]研究应用光声-光学相干层析成像(PA/OCT)双模式成像方法测量血流绝对速?#32676;?#35282;?#21462;?#22312;双模式成像方法中,利用光声相关谱方法测量血流速度在垂直于探测激光光束传播方向的速度分量,利用多普勒光学相干层析成像测量血流速...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0607004

 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法

王瑄 李中梁 南楠 步扬 曾爱军 陈艳 潘柳华 卢宇 王向朝

[摘要]提出了一种基于固定光程差干涉信号的光谱标定方法。在频域光学相干层析成像(OCT)系统中引入一个光程差为固定值的干涉信号,则每次采集的信号同时包含该固定光程差的干涉信号和样品的干涉信号,通过滤波的方式将该固定...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0607005

 偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准

陈艳 李中梁 南楠 步扬 卢宇 宋?#21152;?/a> 王向朝

[摘要]偏振频域光学相干层析成像(FD-PS-OCT)可以通过测量样品的偏振特性实现某些疾病的早期诊断。偏振参数的测量精度关系到疾病诊?#31995;?#20934;确性。在FD-PS-OCT中,正交的两路干涉信号?#35789;?#20165;存在很小的光谱错位,?#37096;?#33021;导致偏振...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(02):0207022

 基于光声相关谱法的血液流速测量

潘柳华 张向阳 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]利用光声相关谱法对血液流速进行了测量,并研究了激光重复频?#23460;?#21450;血流方向与入射激光传播方向的夹角对血液流速测量准确性的影响。结果表明:血流速度越快,要求激光的重复频率越高;当血流方向与入射激光的传播方向...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(11):1107001

 偏振频域光学相干层析成像中散斑噪声降低方法

陈艳 李中梁 南楠 步扬 王瑄 潘柳华 王向朝

[摘要]偏振频域光学相干层析成像(OCT)中图像质量受散斑噪声影响较大,散斑噪声会使图像细节变模糊,降低图像清晰?#21462;?#38024;?#28304;?#38382;题,提出了一种分光谱降?#25512;?#25391;频域OCT散斑噪声的方法。该方法将系统的全光谱信号分为多个光谱...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(08):0811004

 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法

王 瑄 李中梁 南 楠 步 扬 陈 艳 潘柳华 卢 宇 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种提高扫频光学相干层析成像(SSOCT)系统灵敏度的方法。在SSOCT系统中, 当平衡探测器前耦合器的分束比不是50%∶50%时, 会在探测的干涉信号中引入直流偏置, 从而影响系统的灵敏?#21462;?#20998;析了干涉信号中引入直流偏...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0807002

 基于互相关运算的扫频光学相干层析成像延时校正算法

卢宇 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]提出了一种扫频光学相干层析成像k-clock延时校正算法, ?#30431;?#27861;基于互相关运算, 能够有效校正光源?#28304;鴎-clock信号的延时。由于扫频光源的不稳定性、同步触发硬件的精度不足以及外界环境影响, 扫频光源?#28304;?#30340;k-clock信号...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0607001

 基于自相干叠栅条?#39057;?#20809;刻机对?#25216;?#26415;

杜聚有 戴凤钊 步扬 王向朝

[摘要]随着光刻技术向10 nm及以下工艺节点的延伸, 光刻工艺对?#21331;?#31934;度提出了更高的要求, 相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条?#39057;?#20809;刻机对准方法, 其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(12):1204006

 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测

罗茂 步扬 徐静浩 王向朝

[摘要]为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数, 提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法, 该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面, 通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104001

 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 步扬 ?#33529;?#26480;

[摘要]浸液光刻投影物镜的数值孔径目前已经达到1.35,这对与之匹配的照明系统光瞳测量提出了十分?#37327;?#30340;需求,为此设计了一种用于照明光瞳测量的傅里叶变换物镜。分析了傅里叶变换物镜应该满足的畸变要求,并针对照明光瞳测...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0416001

 一种提高偏振光斯托克?#20849;?#37327;测量精度的方法

汤飞龙 李中梁 步扬 王向朝 范李立 曹绍谦

[摘要]波片相位延迟量误差是影响旋转波片法斯托克斯(Stokes)参量测量精度的主要因素。通过?#28304;?#32479;旋转波片法测量Stokes参量的原理进行理论分析,研究了测量误差与相位延迟量误差之间关系,提出了提高偏振光Stokes参量测量精...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0408006

 旋转波片法偏振检测装置器件参数校准

汤飞龙 李中梁 步扬 王向朝 范李立 王瑄 曹绍谦

[摘要]波片相位延迟量误差、快轴角度误差和检偏器透光轴角度误差是影响基于旋转波片法的偏振检测装置测量精度的主要因素。通过对波片和检偏器参数进行校准,可有效提高检测装置测量精?#21462;?#38024;对现有校准方法操作复杂的不足,...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0912005

 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量误差分析

曹绍谦 步扬 王向朝 李思坤 汤飞龙 李中梁

[摘要]针对已有单光弹调制器米勒矩阵测量技术缺乏定量误差分析的不足,提出了单光弹调制器米勒矩阵测量误差方程,给出了相对误差分析方法,并结合矩阵条件数得到了降低米勒矩阵各元素最大相对误差的两组1/4波片方位角优化组...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(06):0612010

 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术

曹绍谦 步扬 王向朝 李思坤 汤飞龙 李中梁

[摘要]针对已有米勒矩阵测量方法的不足,提出了一种基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术,给出了米勒矩阵测量优化算法及系统参数两步校准法。该技术通过两步校准法对系统参数进行校准测量,利用优化算法计算得到待测样品的...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0112006

 极紫外投影光刻掩模阴影效应分析

曹宇婷 王向朝 步扬 刘晓雷

[摘要]极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置?#32479;?#20687;图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现?#25628;?#27169;阴影效应的理论分析和补偿,得到?#25628;?..

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0805001

 极紫外投影光?#25506;?#35302;孔掩模的快速仿真计算

曹宇婷 王向朝 步扬

[摘要]采用一个极紫外投影光刻掩模衍射简化模型实现了三维接触孔掩模衍射场的快速仿真计算。基于该模型,得到了接触孔掩模衍射场分布的解析表达式,并对光刻成像时的图形位置偏移现象进行了解释和分析。简化模型中,掩模包...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(07):0705001

 消除光强调制影响的双波长正弦相位调?#32856;?#28041;仪

王渤帆 李中梁 王向朝 步扬

[摘要]在双波长半导体激光(LD)正弦相位调制(SPM)干涉仪中,通过注入电流调制LD波长的同?#20445;?#20809;源的输出光强也被调制,影响了测量精?#21462;?#25552;出了一?#20013;?#30340;双波长LD SPM干涉仪,通过对干涉信号进行处理,得到与干涉信号相位相关的...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(10):1008001

 偏振正交误差对偏振光导航定位系统测量精度的影响

黄旭锋 步扬 王向朝

[摘要]偏振正交误差是影响四通道时分复用大气偏振检测系统精度的主要因素。通过建立检偏器阵列偏振正交误差对偏振光导航系统定位精度的影响模型,分析了该误差?#28304;?#27668;偏振测量精度与导航定位精度的影响,并进行了实验验证。...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(01):0108002

 太阳光大气散射的散射角与偏振度关系的研究

黄旭锋 步扬 王向朝

[摘要]在不同天气情况下检测了太阳光大气散射的散射角与偏振度,研究了它们之间的关系,结果表明在不同天气情况下散射角与偏振度成抛物线关系。当天空晴朗?#20445;?#25955;射粒子比太阳光波长要小得多?#20445;?#25955;射角为90o时偏振度达到峰值...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):546

 基于视觉仿生原理的四通道时分复用大气偏振检测技术

黄旭锋 步扬 王向朝

[摘要]大气偏振图景检测精度直接决定了系统载体的导航定位精?#21462;?#22522;于视觉仿生原理,提出了一种四通道时分复用(TDM)大气偏振图景检测技术。该技术采用2组4个探测通道和时分复用技术实现大气偏振信号分时检测,获得大气偏振图景...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(08):2015-2019

 基于?#36164;?#25955;射理论的太阳光散射偏振特性

黄旭锋 步扬 王向朝

[摘要]大气散射光偏振特性的研究?#26434;?#38477;低自然扰动对偏振光导航系统的误差影响,优化系统具有重要意义。实验采用矢?#31185;?#25391;分析装置测量了不同天气情况下大气散射光偏振?#32676;?#22826;阳光单次散射角,研究了两者之间的关系。结果表明...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(12):3002-3006

 反馈光注入半导体激光器复合腔模的稳定性

王少卿 王向朝 步扬

[摘要]利用渐进稳定性分析的方法研究了小注入电流条件下反馈光注入半导体激光器的复合腔模(ECM)的稳定性, 并提出对应于所有的复合腔模在相空间内存在一个模式稳定区域, 复合腔模出现在该模式稳定区域内的概率远大于出现在该...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(06):1360-1365

 椭偏仪的研究进展

杨坤 王向朝 步扬

[摘要]主要介绍了椭偏仪的测量原理,比较了不同结构的椭偏仪,并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪,分析了椭偏仪的数据处理过程,最后展望了椭偏仪的发展趋势。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2007, 44(03):43-49

 消除正弦相位调?#32856;?#28041;仪中光强调制影响的全光纤干涉仪

李中梁 王向朝 刘英明 步扬

[摘要]在激光二极管(LD)正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中,通过注入电流调制激光二极管波长的同时,光源输出的光强也被调制,成为测量误差的主要来源之一。提出一?#20013;?#30340;消除激光二极管正弦相位调?#32856;?#28041;仪中光强调制影响的干涉仪,...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(09):1267-1270

 一种使?#30431;?#26865;镜的动态小角度测量方法

郑?#36335;?/a> 王向朝 李中梁 ?#21697;?/a> 步扬

[摘要]提出一种基于正切关系和相位调制技术的动态小角度测量方法。使?#30431;?#26865;镜组成干涉测量臂引导两束平行光至分束棱镜处干涉,通过提取携带被测信息的干涉信号的相位实现动态的小角度测量。由于采用位置探测器(PSD)对测量臂...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(09):1255-1259

 狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用

曾爱军 王向朝 徐德衍 李代林 黄立华 董作人 ?#26434;?#20975; 江晓军 步扬

[摘要]提出了一种基于狭缝投影的位置传感技术,阐述了此技术的传?#24615;?#29702;及其在精密定位中的应用。准直激光束照明的投影狭缝由一个透镜?#26376;?#20837;射角度投影在被测物体上,狭缝投影经过被测物体表面的反射和另一个透镜的成像在探测...

 PDF全文中国激光 | 2005, 32(09):1178-1182

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