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 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳?#38382;?#30340;偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 基于粒子群优化算法的光刻机光源掩模投影物镜联合优化方法

王 磊 李思坤 王向朝 杨朝兴

[摘要]全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO)方法。将由像素表征的光源、由离散余弦变换基表征的掩模及由泽尼克系数表征的投影...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1022001

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法,实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比,多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于动态适应?#32676;?#25968;的光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于动态适应?#32676;?#25968;的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应?#32676;?#25968;方法在遗传算法优化过程中采用动态适应?#32676;?#25968;模拟真实光刻工艺条件误差对光?#25506;?#26524;的影响,得到对光刻工艺条件误差不敏?#26800;?#20248;化光源和优化...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0111006

 基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法

王磊 李思坤 王向朝 闫观勇 杨朝兴

[摘要]提出了一种基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法.将光源信息编码为粒子,利用图形误差作为评价函数,通过更新粒子的速度与位置信息?#27426;系?#20195;优化光源图形.对周期接触孔阵列和含有交叉门的复杂掩模图形的仿真验证表明...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(04):0422002

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