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 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳?#38382;?#30340;偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

诸波尔 李思坤 王向朝 戴凤钊 ?#21697;?/a> 段立峰

[摘要]提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜?#30446;?#38388;像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712004

 基于机器学习校正的极紫外光刻含缺陷掩模仿真方法

张恒 李思坤 王向朝 成维

[摘要]提出了一种基于机器学?#23433;?#25968;校正的极紫外光刻三维含缺陷掩模仿真方法。本方法采?#30431;?#26426;森林、K近邻等机器学习方法,对基于结构分解法的含缺陷掩模衍射谱快速仿真模型的参数进行动态校正,提高了模型的精度及适应性。以...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(12):1222002

 基于改进型结构分解的极紫外光刻掩模衍射谱快速仿真方法

张恒 李思坤 王向朝

[摘要]对极紫外光刻掩模的吸收层?#25237;?#23618;膜分别建模, 将二者组合以实现对具有复杂图形分布的掩模衍射谱的快速精确仿真。?#28304;?#22312;图形偏?#39057;?#21560;收层, 采用扩展的边界脉冲修正法进行仿真。对无缺陷及含缺陷的多层膜, 分别采用等效...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(01):0105001

 基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法

张 恒 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法, 在保证?#27426;?#20223;真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模, 对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0505001

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记?#30446;?#38388;像进行主成分分析(PCA)?#25237;?#20803;线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜?#30446;?#38388;像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 基于粒子群优化算法的光刻机光源掩模投影物镜联合优化方法

王 磊 李思坤 王向朝 杨朝兴

[摘要]全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO)方法。将由像素表征的光源、由离散余弦变换基表征的掩模及由泽尼克系数表征的投影...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1022001

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法,实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比,多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 基于评价函数的二维小波变换轮廓术小波脊提取方法

徐东瀛 李思坤 王向朝 汪凯巍

[摘要]小波脊提取是小波变换轮廓术的关键步骤,在抑噪能力和速度方面,前者直接影响后者。提出了基于评价函数的二维小波变换的一?#20013;?#30340;小波脊提取方法,利用二维小波变换系数模信息、条纹瞬时频率信息以及局部条?#24179;?#26500;方向信...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0412006

 超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 闫观勇 沈丽娜 段立峰

[摘要]提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机?#30446;?#38388;像,从而提高了像差检测模型的精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0112002

 基于动态适应?#32676;?#25968;的光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于动态适应?#32676;?#25968;的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应?#32676;?#25968;方法在遗传算法优化过程中采用动态适应?#32676;?#25968;模拟真实光刻工艺条件误差对光?#25506;?#26524;的影响,得到对光刻工艺条件误差不敏?#26800;?#20248;化光源和优化...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0111006

 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

吴飞斌 ?#21697;?/a> 王向朝 李杰 李思坤

[摘要]Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性,具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点,适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统,根据光栅衍射和空间相...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(03):0308008

 极紫外光刻含缺陷掩模仿真模型及缺陷的补偿

刘晓雷 王向朝 李思坤

[摘要]建立了一个基于单平面近?#39057;?#26497;紫外(EUV)光刻三维含缺陷掩模的快速仿真模型。该仿真模型中,采用相位突变和振幅衰减表示缺陷对多层膜的反射系数的影响,吸收层模型采用薄掩模修正模型。以22 nm 三维接触孔图形为例,周...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(08):0822006

 基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型

刘晓雷 李思坤 王向朝

[摘要]建立了一个基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型。通过等效膜层法求解含缺陷多层膜无缺陷区域和含缺陷区域不同位置的反射系数,准确快速地仿真含缺陷多层膜的衍射谱。与波导法严格仿真相比,200 nm 尺...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0622005

 投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法

沈丽娜 李思坤 王向朝 闫观勇

[摘要]提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论,从掩模空间像的光强分布推导出偏振像差引起?#30446;?#38388;像图形位置偏移误差(IPE)和最佳焦面偏移(BFS...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0611003

 基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法

王磊 李思坤 王向朝 闫观勇 杨朝兴

[摘要]提出了一种基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法.将光源信息编码为粒子,利用图形误差作为评价函数,通过更新粒子的速度与位置信息?#27426;系?#20195;优化光源图形.对周期接触孔阵列和含有交叉门的复杂掩模图形的仿真验证表明...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(04):0422002

 基于随机并行梯?#20154;?#38477;算法的光刻机光源与掩模联合优化方法

李兆泽 李思坤 王向朝

[摘要]随着集成电路特征尺寸进入2Xnm及以下节点,光源与掩模联合优化(SMO)成为了拓展193 nm ArF浸没式光刻工艺窗口、减小工艺因子的重要分辨率增强技术(RET)之一。提出了一种基于随机并行梯?#20154;?#38477;(SPGD)算法的SMO方法,通过...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0911002

 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型

刘晓雷 李思坤 王向朝

[摘要]建立了一个极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型,采用相位突变和反射系数振幅衰减表示缺陷对多层膜反射光的影响,得到了含缺陷多层膜衍射谱的解析表达式。简化模型中,相位突变量由多层膜表面以下第6层膜的缺陷...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905002

 基于并行小波变换的快速三维面形测量技术

余程 李思坤 王向朝

[摘要]为了提高小波变换三维面形测量技术中相位信息的解调速度,依据不同的并行计算原理,提出两种基于并行一维连续小波变换的光学条纹图快速解调方法。利用多核CPU运算平台进行了计算机模拟和实验,结果表明并行一维连续小...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(05):0512005

 基于相?#25442;?#31354;间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法

杨?#30431;?/a> 王向朝 李思坤 闫观勇

[摘要]提出一种基于阶梯相?#25442;?#31354;间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相?#25442;?#31354;间像进行主成分分析?#25237;?#20803;线性回归分析,构建了空间像光强分布与波像差之间的线?#38405;?#22411;,并基于该模型实现了波像差检测。与使用...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(02):0211004

 基于二次规划的光刻机光源优化方法

闫观勇 李思坤 王向朝

[摘要]提出一种基于二次规划的光刻机光源优化方法。采用空间像与目标像的图形误差为目标函数,根据空间像强度与不同位置的点光源之间的线性关系,将光源优化转换成二次规划问题。将掩模图形区域分成限制区域和比较区域,对...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(10):1022004

 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量误差分析

曹绍谦 步扬 王向朝 李思坤 汤飞龙 李中梁

[摘要]针对已有单光弹调制器米勒矩阵测量技术缺乏定量误差分析的不足,提出了单光弹调制器米勒矩阵测量误差方程,给出了相对误差分析方法,并结合矩阵条件数得到了降低米勒矩阵各元素最大相对误差的?#38454;?/4波片方位角优化组...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(06):0612010

 基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术

曹绍谦 步扬 王向朝 李思坤 汤飞龙 李中梁

[摘要]针对已有米勒矩阵测量方法的不足,提出了一种基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术,给出了米勒矩阵测量优化算法及系统参数两步校准法。该技术通过两步校准法对系统参数进行校准测量,利用优化算法计算得到待测样品的...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0112006

 基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法

杨?#30431;?/a> 李思坤 王向朝 闫观勇 徐东波

[摘要]提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统?#21697;?#26512;,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。以噪声标准差为权重因子,利用加权最小二乘法对空间像进行主成分分解,可以实现对空间...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0111003

 基于解析图像的小波变换光学载频干涉全息图相位重建方法

李思坤 苏?#26434;?/a> 陈文静

[摘要]将解析图像和实数小波变换(WT)相结合应用到光学载频全息图分析中。首先对载频全息图进行希尔伯特变换构造解析图像,然后对解析图像进行WT,提取小波脊处对应的WT系数的相位信息即可得到载频全息图的相位信息。由于母...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(02):0209002

 二维小波变换在解调双载频条纹图中的应用

蔡义祥 陈文静 李思坤 赵玥 许罗鹏

[摘要]?#26377;?#27874;变换的基本原理出发,分析采用一维复Morlet小波变换在解调具有双载频分量的倾斜条纹图中存在的问题,利用二维小波变换具有方向选择的特点,提出采用由一系列二维复Morlet小波构造出的二维Fan小波?#28304;?#31867;条纹图进行...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2010, 47(07):071001

 一?#20013;?#30340;小波变换空间载频条纹相位重建方法

李思坤 苏?#26434;?/a> 陈文静

[摘要]为了?#26377;?#27874;变换系数幅值中得到一种完备?#30446;?#38752;度因子,提出了一?#20013;?#30340;子小波定义,并将其应用到空间载频条纹相位重建中。通过提取小波脊处的小波变换系数的相位,提取载频条纹相位信息。利用子小波定义,小波变换脊处...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(12):3060-3065

 二维实小波变换在空间载频条纹相位分析中的应用

李思坤 苏?#26434;?/a> 陈文静

[摘要]将二维实小波变换和希尔伯特变换相结合应用到空间载频条纹相位分析中。首先对载频条纹进行希尔伯特变换构造解析信号,然后对其解析信号进行二维实小波变换,提取小波脊处对应的小波变换系数的相位信息即可得到有效的物...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(06):1673-1679

 傅里叶变换轮廓术中基于经验模态分解?#31181;?#38646;频的方法

李思坤 陈文静 苏?#26434;?/a> 向立群

[摘要]为了消除傅里叶变换轮廓术中零频成分的扩展对测量?#27573;?#21644;精度的影响, 将经验模态分解方法引入到傅里叶变换轮廓术中,对变形条纹图进行经验模态分解, 将条纹图分解为一系列的从高频到?#25512;?#25490;列的固有模态函数, 达到将高频...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(03):664-669

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