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 基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

诸波尔 李思坤 王向朝 戴凤钊 ?#21697;?/a> 段立峰

[摘要]提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜?#30446;?#38388;像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712004

 基于自相干叠栅条?#39057;?#20809;刻机对?#25216;?#26415;

杜聚有 戴凤钊 步扬 王向朝

[摘要]随着光刻技术向10 nm及以下工艺节点的延伸, 光刻工艺对?#21331;?#31934;度提出了更高的要求, 相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条?#39057;?#20809;刻机对准方法, 其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(12):1204006

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记?#30446;?#38388;像进行主成分分析(PCA)?#25237;?#20803;线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜?#30446;?#38388;像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

李杰 ?#21697;?/a> 王向朝 戴凤钊 冯鹏

[摘要]在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用?#27573;?#30340;基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式?#27426;?..

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(05):0508006

 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析

张敏 ?#21697;?/a> 王向朝 戴凤钊

[摘要]基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相?#32856;?#28041;相位测量结果进行比对,?#26434;?#21709;FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308002

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