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   将选定结果: 

 PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元

[摘要]为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材?#31995;?#24314;模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(04):585

 紧?#25307;?#20809;谱薄膜测厚仪的研制

刘佳敏 陶 泽 张传维 刘世元

[摘要]为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧?#25307;?#34180;膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线?#26434;?#21270;算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分SiO2/S...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(04):472

 基于偏振态空间调?#39057;?#32039;?#25307;推?#25391;光谱仪

陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元

[摘要]提出并实现了一种紧?#25307;推?#25391;光谱仪, 该仪器采用光谱仪阵列, 使测量光谱范围覆盖可见光波段; 采用部分平行光路设计, 简化了测量配置和系统校准方法; 运用入射面旋转效应, 实现了偏振态?#30446;?#38388;并行调制, 减少了测量时间...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(05):557

 基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射

董正琼 刘世元 陈修国 石雅婷 张传维 江 浩

[摘要]在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质?#23458;?模型的输出光谱?#28304;?#27979;纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):116

 基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究

刘世元 张传维 沈宏伟 顾华勇

[摘要]提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。 给出了测量原理与方法, 设计了测量系统光路。 通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合?#23454;?#20837;射角, 消除了背面杂散光反射...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(04):935-939

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