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 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳?#38382;?#30340;偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记?#30446;?#38388;像进行主成分分析(PCA)?#25237;?#20803;线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜?#30446;?#38388;像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 ?#21697;?/a> 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

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