手机十三水作弊软件|十三水棋牌游戏赚钱
首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '孟泽江', 共?#19994;?6个内容。

   将选定结果: 

 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 戴凤钊 杨朝兴

[摘要]针?#38405;?#21202;矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线?#38405;?#22411;。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(09):0911002

 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴 戴凤钊

[摘要]提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一?#20013;?#30340;偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(07):0712006

 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳?#38382;?#30340;偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记?#30446;?#38388;像进行主成分分析(PCA)?#25237;?#20803;线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜?#30446;?#38388;像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 ?#21697;?/a> 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

首页上一页1下一页尾页
手机十三水作弊软件 80年代儿时玩的电子游戏 老版百人牛牛 500彩票网主页 重庆时时是不是真的 六肖必中 百变计划pk10手机版 飞鱼crm账号 哈尔滨麻将技巧顺口溜 任五遗漏数据四川快乐十二 怎样解排列三双双字谜