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   将选定结果: 

 PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元

[摘要]为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材?#31995;?#24314;模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(04):585

 紧?#25307;?#20809;谱薄膜测厚仪的研制

刘佳敏 陶 泽 张传维 刘世元

[摘要]为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧?#25307;?#34180;膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线?#26434;?#21270;算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分SiO2/S...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(04):472

 基于偏振态空间调?#39057;?#32039;?#25307;推?#25391;光谱仪

陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元

[摘要]提出并实现了一种紧?#25307;推?#25391;光谱仪, 该仪器采用光谱仪阵列, 使测量光谱范围覆盖可见光波段; 采用部分平行光路设计, 简化了测量配置和系统校准方法; 运用入射面旋转效应, 实现了偏振态?#30446;?#38388;并行调制, 减少了测量时间...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(05):557

 基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射

董正琼 刘世元 陈修国 石雅婷 张传维 江 浩

[摘要]在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质?#23458;?模型的输出光谱?#28304;?#27979;纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):116

 基于腔衰荡技术的光纤双环路一氧化碳浓度监测系统研究

李志全 朱国芳 陈曦 杨秋霞 刘世元 闫聚兵 李文超

[摘要]对光纤环形腔技术的传?#24615;?#29702;进行了理论推导,并设计了一种双环路一氧化碳浓度测量系统.分析了掺铒光纤放大器在系统中的作用及其增益波动对系统的影响,通过对掺铒光纤放大器的增益进行反馈控制,进一步了提高了测量系...

 PDF全文光子学报 | 2010, 39(03):481-484

 基于声光偏频法的激光频率无调制锁定

李志全 陈曦 朱国芳 高天野 闫聚兵 刘世元

[摘要]为了进一步提高1.5 μm 波段激光器的频率稳定性,利用声光调制器(AOM)的频移特性使激光发生频移,将乙炔(12C2H2)的υ1+ υ3 带的P9 支吸收峰作为参?#35745;?#29575;,通过两条频?#39057;?#21560;收谱线产生类色散鉴频曲线,实现对外腔半导体激...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(01):110-114

 微/纳结构三维形貌高精度测试系统

谢勇君 史铁林 刘世元

[摘要]为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术?#25512;?#25391;技术相结?#31995;?#26041;法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相?#32856;?#28041;技术采集5 幅带有π/2 相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hari...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(01):19-24

 基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究

刘世元 张传维 沈宏伟 顾华勇

[摘要]提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。 给出了测量原理与方法, 设计了测量系统光路。 通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合?#23454;?#20837;射角, 消除了背面杂散光反射...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(04):935-939

 基于干涉显微原理的表面形貌测量系统

王海珊 史铁林 廖广兰 刘世元 张文栋

[摘要]根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(07):84-89

 步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法研究

刘世元 吴小健

[摘要]提出了一种以生产率、剂量精度与激光器使用成本三者最佳匹配为优化目标的步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法及其数学模型,通过将激光器重复频率作为可调参量并引入有效脉冲个数的概念,获得了有效剂量区间内任...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(08):1192-1197

 深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究

刘世元 吴小健

[摘要]提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了?#31181;频?#33033;冲能量超调...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(06):878-884

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